2025-05-24 02:03:27
主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來(lái)區分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)從功能上來(lái)區分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動(dòng)探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類(lèi)。測試完成后,探針卡于芯片分離,如果芯片不合格,則會(huì )在其中間做上標記。上海智能探針臺供應商
探針臺是用于檢測每片晶圓上各個(gè)芯片電信號,保證半導體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設備。因為我們需要知道器件真正的性能,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會(huì )引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來(lái)降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因為有時(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化測試,在片進(jìn)行自動(dòng)化測試成本效益高而且更快。一個(gè)典型的在片測試系統,主要包括:矢量網(wǎng)絡(luò )分析儀,線(xiàn)纜,探針,探針定位器,探針臺,校準設備及軟件,電源偏置等。上海磁場(chǎng)探針臺機構如果是合格的芯片,打點(diǎn)器不動(dòng)作。
探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個(gè)可調測試針以及探針座,配合測量?jì)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測的位置。接下來(lái)測試人員通過(guò)旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精確扎到被測點(diǎn),從而使其訊號線(xiàn)與外部測試機導通,通過(guò)測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。
半導體生產(chǎn)過(guò)程中的探測,可略分為三大類(lèi):1.參數探測:提供制造期間的裝置特性測量;2.晶圓探測:當制造完成要進(jìn)行封裝前,在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能;3.以探針臺為基礎的晶圓處理探測(FinalTest):在出貨給顧客前,對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過(guò)基本的特性測試后,即進(jìn)入晶圓探測階段,此時(shí)需要用復雜的機器、視覺(jué)及軟件來(lái)偵測晶圓上的每顆裸晶,精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應的晶圓后,探針臺會(huì )將晶圓向上挪動(dòng),使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,以進(jìn)行探測。當測試完成,則會(huì )自動(dòng)將下一個(gè)待測晶圓替換到探針卡下面,如此周而復始地循環(huán)著(zhù)。探針臺把晶圓片安放在一個(gè)可移動(dòng)的金屬板上。
X系列探針臺:1、基板采用鑄件為基準進(jìn)行設計,使運動(dòng)的穩定性得到提升,底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運動(dòng)系統采用的是日系高剛性、高精密的導軌和絲桿;反饋檢測系統采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進(jìn)口運動(dòng)控制卡與電機形成整個(gè)閉環(huán)的反饋檢測,以保證實(shí)現高精度高溫度性的運動(dòng)系統。3、整個(gè)四維運動(dòng)設計成低重心的緊湊結構,保證其速率能到達70mm/s,并能提高運動(dòng)過(guò)程中的加速。4、關(guān)鍵零件用導電的表面處理,保證每個(gè)位置能進(jìn)行接地保護。硅片測試的目的是檢驗可接受的電學(xué)性能。上海智能探針臺供應商
細針和待測器件進(jìn)行物理和電學(xué)接觸。上海智能探針臺供應商
探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節,負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過(guò)復雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導體芯片的電參數、光參數的關(guān)鍵設備。經(jīng)過(guò)檢測,探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),在進(jìn)入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司上海智能探針臺供應商