2025-06-12 00:12:52
探針臺主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。探針臺從操作上來(lái)區分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)。從功能上來(lái)區分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺??v觀(guān)國內外的自動(dòng)探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類(lèi),即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動(dòng)探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線(xiàn)導軌結構的x-y工作臺型自動(dòng)探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養不可一概而論,應區別對待。一般,信號路徑電阻被用來(lái)替代接觸電阻,而且它在眾多情況下更加相關(guān)。上海自動(dòng)探針臺哪里有
半導體設備的技術(shù)壁壘高。隨著(zhù)半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設備需要綜合運用光學(xué)、物理、化學(xué)等科學(xué)技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。半導體器件生產(chǎn)中,從半導體單晶片到制成成品,須經(jīng)歷數十甚至上百道工序。為了確保產(chǎn)品性能合格、穩定可靠,并有高的成品率,根據各種產(chǎn)品的生產(chǎn)情況,對所有工藝步驟都要有嚴格的具體要求。因而,在生產(chǎn)過(guò)程中必須建立相應的系統和精確的監控措施,首先要從半導體工藝檢測著(zhù)手。上海直流探針臺探針卡使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差,容易引起短路。
12英寸晶圓在結構上具有更高的效率,以200mm工藝為例,在良率**的情況下,可出88個(gè)完整的晶粒,理論上因方塊切割所造成的邊緣浪費率為23%(約有20個(gè)晶粒因缺角破損而無(wú)法使用);而若以300mm工藝進(jìn)行切割,則產(chǎn)出效率將更驚人,可產(chǎn)出193個(gè)完整的晶粒,會(huì )浪費19%的晶圓面積(36個(gè)不完整晶粒)。此外,12英寸廠(chǎng)的規模經(jīng)濟優(yōu)勢也不容小視;300mm的建廠(chǎng)成本與200mm的建廠(chǎng)成本比值約為1.5,而晶圓廠(chǎng)建廠(chǎng)成本與晶圓面積的比值卻少于2.25,這意味著(zhù)只要多投入1.5倍的建廠(chǎng)成本,即可多生產(chǎn)2.25倍的晶粒!少少的邊際投入即可獲取的收益,約可節省33%的成本;如此高報酬的投資效益隨著(zhù)技術(shù)的發(fā)展而讓人們受益。
據SEMI數據統計,2020年及2021年,全球半導體測試設備市場(chǎng)規?;驅⒎謩e達到52.2億美元及56.1億美元。隨著(zhù)國內半導體技術(shù)的發(fā)展,多個(gè)晶圓廠(chǎng)及實(shí)驗室的建立,國內探針臺市場(chǎng)規模2019年約為10.25億元,2022年將增長(cháng)到15.69億元。隨著(zhù)半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學(xué)、物理、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。探針臺屬于重要的半導體測試裝備,在整個(gè)半導體產(chǎn)業(yè)的多個(gè)環(huán)節起著(zhù)重要作用,是晶圓廠(chǎng)和元器件封測企業(yè)的重要設備之一。隨著(zhù)自動(dòng)化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場(chǎng)對自動(dòng)化探針臺需求旺盛。手動(dòng)或者自動(dòng)移動(dòng)晶圓片,并通過(guò)探針卡實(shí)現這一部分的電子線(xiàn)路連接。
近年來(lái),半導體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿易戰的焦點(diǎn)。2019年,中美摩擦、日韓半導體材料爭端對全球半導體產(chǎn)業(yè)競爭格局也帶來(lái)了較大的影響。在自主可控發(fā)展策略指導下、在資本與相關(guān)配套政策扶植下,中國大陸正在也必將成為全球半導體產(chǎn)業(yè)擴張寶地,未來(lái)幾年半導體產(chǎn)能擴充仍將有較大需求。2019年國內半導體設備投資約為923.51億元,國內半導體檢測設備市場(chǎng)規模約為67.43億元。在疫病結束后國內半導體投資將反彈及恢復增長(cháng),檢測設備市場(chǎng)規模也將隨之增長(cháng),預計2022年將達到103.22億元。在探針臺上裝上打點(diǎn)器,打點(diǎn)器根據系統的信號來(lái)判斷是否給芯片打點(diǎn)標記。上海自動(dòng)探針臺哪里有
探針卡是自動(dòng)測試儀與待測器件之間的接口。上海自動(dòng)探針臺哪里有
探針臺如何工作:探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動(dòng)探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤(pán),壓盤(pán)將探針頭與芯片分開(kāi),然后將工作臺移到下一個(gè)芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程,提高了探針臺生產(chǎn)率。上海自動(dòng)探針臺哪里有