2025-06-13 09:02:40
探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。通過(guò)與測試儀器的配合,探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應用。半導體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類(lèi):驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節需要使用測試儀和探針臺,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實(shí)現被測芯片與測試機的連接,通過(guò)探針臺和測試機的配合使用對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節。上海直流探針臺
半導體測試是半導體生產(chǎn)過(guò)程中的重要環(huán)節,其測試設備包括測試機、分選機、探針臺。其中,測試機是檢測芯片功能和性能的專(zhuān)業(yè)設備,分選機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來(lái)的專(zhuān)業(yè)設備,與測試機共同實(shí)現批量自動(dòng)化測試。受益于國內封裝測試業(yè)產(chǎn)能擴張,半導體測試設備市場(chǎng)快速發(fā)展。作為半導體封測行業(yè)三大設備之一,探針臺主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測試,研發(fā)難度大,國產(chǎn)化率低,進(jìn)口依賴(lài)度高,它的品質(zhì)和精度直接決定測試可靠性與否。上海探針臺配件廠(chǎng)家適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。
在工藝方面,常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個(gè)組件構成的,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關(guān)鍵因素,電鍍處理過(guò)的彈簧使用壽命高,不會(huì )生銹,也能提高測試探針是持久性和導電性。因此,電鍍工藝是生產(chǎn)半導體測試探針的主要技術(shù),而國內的電鍍工藝尚且有待突破。長(cháng)期以來(lái),國內探針廠(chǎng)商均處于中低端領(lǐng)域,主要生產(chǎn)PCB測試探針、ICT測試探針等產(chǎn)品??傮w來(lái)說(shuō),只要好的芯片、好的封測廠(chǎng)商才需要用到半導體測試探針,只有國內好的芯片和測試遍地開(kāi)花,整個(gè)產(chǎn)業(yè)足夠大,國產(chǎn)配套供應商才能迅速成長(cháng)起來(lái)。
探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術(shù)指標,在檢測過(guò)程中會(huì )對芯片樣品逐一檢查,只有通過(guò)設計驗證的產(chǎn)品型號才會(huì )量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠(chǎng)、封測廠(chǎng)或專(zhuān)門(mén)的測試代工廠(chǎng)進(jìn)行,主要用到的設備為測試機和探針臺。半導體行業(yè)向來(lái)有“一代設備,一代工藝,一代產(chǎn)品”的說(shuō)法。半導體設備價(jià)值普遍較高,一條先進(jìn)半導體生產(chǎn)線(xiàn)投資中,設備價(jià)值約占總投資規模的75%以上。隨著(zhù)全球半導體行業(yè)市場(chǎng)規模不斷擴大,半導體設備市場(chǎng)也呈增長(cháng)趨勢。根據SEMI統計,全球半導體設備銷(xiāo)售額從2013年的318億美元增長(cháng)至2018年的645億美元,年復合增長(cháng)率約為15.2%,但受到半導體行業(yè)景氣度下滑及宏觀(guān)經(jīng)濟環(huán)境影響,2019年、2020年一季度增長(cháng)有所下降,但預計疫病過(guò)后,將恢復增長(cháng)。探針臺存放在氮氣柜中,防止探針的加快氧化。
近來(lái)出現的一種選擇是使用同軸射頻電纜安裝探針,它結合了探針臺準確性和可重復性的功能以及用探針可及性的功能。這些探針的邊緣類(lèi)似于探針臺探針夾具——接地-信號-接地(GSG)或者接地-信號(GS)——一端帶有pogo-pin探針,另一端帶有典型的同軸連接器。這些新型探針可以達到40GHz,回波損耗優(yōu)于10dB。探針的針距范圍在800微米到1500微米之間,這些探針通常使用的終端是3.5毫米母頭或2.92毫米母頭同軸連接器。與探針臺一樣,可以在特定的測試區域中設計一個(gè)影響小的焊盤(pán)端口,或者可以將探針?lè )胖迷诳拷M件的端子或微帶傳輸線(xiàn)上。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節,負責晶圓的輸送與定位。上海芯片探針臺多少錢(qián)
手動(dòng)探針臺:普遍應用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗室芯片失效分析等領(lǐng)域。上海直流探針臺
隨著(zhù)半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學(xué)、物理、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。探針臺屬于重要的半導體測試裝備,在整個(gè)半導體產(chǎn)業(yè)的多個(gè)環(huán)節起著(zhù)重要作用,是晶圓廠(chǎng)和元器件封測企業(yè)的重要設備之一。隨著(zhù)自動(dòng)化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場(chǎng)對自動(dòng)化探針臺需求旺盛。自動(dòng)化探針臺搭配測試機能夠對出廠(chǎng)晶圓片的電氣參數、光學(xué)參數進(jìn)行測試,根據測試結果評定上一道工序的工藝質(zhì)量,并指導下一道工序。上海直流探針臺