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探針臺概要：晶圓探針臺是在半導體開(kāi)發(fā)和制造過(guò)程中用于晶片電氣檢查的設備。在電氣檢查中，通過(guò)探針或探針卡向晶片上的各個(gè)設備提供來(lái)自測量?jì)x器或測試器的測試信號，并返回來(lái)自設備的響應信號。在這種情況下，晶片探測器用于輸送晶片并接觸設備上的預定位置。探針臺是檢測芯片的重要設備，在芯片的設計驗證階段，主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術(shù)指標，在檢測過(guò)程中會(huì )對芯片樣品逐一檢查，只有通過(guò)設計驗證的產(chǎn)品型號才會(huì )量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠(chǎng)、封測廠(chǎng)或專(zhuān)門(mén)的測試代工廠(chǎng)進(jìn)行，主要用到的設備為測試機和探針臺。通常探針是由鎢制成的，它如果長(cháng)期不用，針尖要形起氧化。上海高溫探針臺報價(jià)

隨著(zhù)電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來(lái)，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng)，移動(dòng)范圍12mm，移動(dòng)精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測點(diǎn)上(說(shuō)明探針是耗材，一般客戶(hù)自己準備)，探針探測到的信號可以通過(guò)探針桿上的電纜傳輸到與其連接的測試機上，從而得到電性能的參數。對于重復測試同種器件，多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺安裝探卡進(jìn)行測試。上海探針臺探針臺測試過(guò)程中使用的電學(xué)規格隨測試的目的而有所不同。

探針臺為研究和工程實(shí)驗室在測試運行期間移動(dòng)通過(guò)多個(gè)溫度點(diǎn)時(shí)，提供前所未有的自動(dòng)化水平。這種新技術(shù)使探針系統能夠感知，學(xué)習和反應以多溫度和特征的極其復雜的環(huán)境。隨著(zhù)集成電路產(chǎn)品不斷進(jìn)入汽車(chē)應用等更高發(fā)熱量的環(huán)境，在越來(lái)越寬的溫度范圍內表征器件性能和耐用性變得越來(lái)越重要。以前，大多數芯片在兩個(gè)溫度點(diǎn)進(jìn)行晶圓級測試，通常為20?C（室溫）和90?C?，F在，該范圍已經(jīng)擴大到-40?C至125?C，并且可能需要在此范圍內的四個(gè)溫度步驟中進(jìn)行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍，如-55?C至200?C，晶圓可靠性測試可能要求高達300?C的溫度。

探針臺工作臺由兩個(gè)步進(jìn)電機分別驅動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺運動(dòng)，導向部分采用精密直線(xiàn)滾動(dòng)導軌。由于運動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長(cháng)等特點(diǎn)。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃，濕度≤70%，無(wú)有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線(xiàn)導軌應定期加精密儀表油，但不可過(guò)多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過(guò)程中，從直線(xiàn)導軌的直線(xiàn)性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調整，用戶(hù)一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來(lái)的狀態(tài)，所以對需要調整的工作臺應有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家或經(jīng)過(guò)培訓的專(zhuān)業(yè)人員完成。上海勤確科技有限公司秉承專(zhuān)業(yè)、科技、快捷、準確、誠信的服務(wù)精神。

x-y工作臺的維護與保養：無(wú)論是全自動(dòng)探針測試臺還是自動(dòng)探針測試臺，x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要?，F在只對自動(dòng)探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。平面電機x-y步進(jìn)工作臺的維護與保養：平面電機由定子和動(dòng)子組成，它和傳統的步進(jìn)電機相比其特殊性就是將定子展開(kāi)，定子是基礎平臺，動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動(dòng)子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對摩擦故無(wú)磨損，使用壽命長(cháng)。上海勤確科技有限公司團隊從用戶(hù)需求出發(fā)。上海高溫探針臺報價(jià)

重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進(jìn)精度及使用壽命。上海高溫探針臺報價(jià)

探針臺是半導體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測裝備之一，其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節，負責晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中，從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過(guò)復雜的工序，可分為前道工序與后道工序，探針臺是檢測半導體芯片的電參數、光參數的關(guān)鍵設備。經(jīng)過(guò)檢測，探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來(lái)，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司上海高溫探針臺報價(jià)